洁净厂房、洁净室、无尘室对湿度的要求以及如

湿度控制是无尘车间生产必需具备的重要条件,相对湿度是无尘车间、洁净室运作过程中一个常用的环境控制条件。半导体无尘车间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%RH的范围内,允许误差在±1%的狭窄的范围内,例如光刻区或者在远紫外线处理(DUV)区甚至更小而在其他地方则可以放松到±5%RH的范围内。

无尘室

近年来,由于对工艺要求的越来越高,人们对无尘车间的要求也越来越高。无尘车间是一个比较特殊的场所,又叫做洁净厂房、洁净室(Hlean Room)、无尘室。其中,跟我们除湿机行业密切相关的就是空气的湿度了。因为空气的湿度对会无尘车间室内有一些影响:

1、无尘车间里的一些物品在湿度大的环境里,往往会吸收水分,从而变形变质。因此,继续除湿机来确保空气里的湿度保持在一个合理的标准。


2、无尘车间里一定会有金属物品,湿度过于大太潮湿,金属会受潮,会被腐蚀!


3、前面两点是空气的湿度过于大会引起的问题,同样的空气的湿度过于小,就是空气太干燥也是不行的。如果无尘车间里的空气太干燥,是容易引起静电的。


4、既然是车间,必定有工人在操作。科学研究表明了,我们人体在空气湿度在40%—60%RH之间是比较舒适的。空气湿度过于高,人的皮肤可能会过敏湿疹,会无精打采,萎靡不振;空气过于干燥,会诱发各种呼吸系统的疾病。


5、无尘车间并非无菌车间,在无尘车间里要保持好一个好的空气湿度。经过研究表明,细菌和其他生物污染在相对湿度超过60%RH的环境中可以活跃地繁殖,一些菌群在相对湿度超过30%RH时就可以增长,可见控制湿度的重要性。


随着车间对空气质量指标的高要求,无尘车间安装管道除湿机或者是恒温恒湿机等设备是势在必行的。其中除湿机的原理是用蒸发器在降温的同时,又可以回收系统的热量来弥补散失的热量,既能源合理利用又节能,如今越来越多地应用。


那么洁净厂房、洁净室、无尘室常见的除湿设备有哪些呢?

1、立柜式除湿机

  

无尘室立柜式除湿机

2、管道&吊顶式除湿机

无尘室管道&吊顶式除湿机

3、恒温恒湿机

无尘室恒温恒湿机


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